其中，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工。中微公司2月披露的2020年业绩快报显示，中微公司2020年刻蚀设备收入为12.89亿元，同比增长约58.49%；由于市场原因，中微公司2020年MOCVD设备收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。

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