2020年第四季度，该公司销售额43亿欧元，净收入14亿欧元，毛利率52%。该公司CEO表示，第四季度的利润增长主要因为额外的DUV深紫外光刻机的交货。第四季度总共交付9台EUV极紫外光刻机系统，收到了8台的货款。ASML第四季度的订单金额为42亿欧元其中有11亿欧元为6台EUV光刻机。财报中还显示，ASML2020年Q4研发设计投入为5.56亿欧元，全年研发设计投入达22亿欧元。该公司全年共交付31台EUV光刻机系统，总价值45亿欧元。亚汇网了解到，ASML预计2021年第一季度销售收入在39亿-41亿欧元，毛利率预计50%-51%，研发设计投入6.2亿欧元。同时，该公司宣布为每股普通股配息2.75欧元，相比去年增长15%。
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