▲图文无关该光刻机于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室,即将组织调试。此外,这款ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻机可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。亚汇网了解到,晶瑞股份于2020年9月28日晚发布公告称,将开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目,拟通过SingtestTechnologyPTE.LTD.进口韩国SKHynix的ASML光刻机设备,总价款为1102.5万美元(折合7508万人民币)。ASMLXT1900Gi型光刻机并非先进工艺光刻机,但也实属不易,在这关键时刻也算意义重大。以下为官方原文:
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