业内人士分析称，三星积极追赶台积电，不过台积电在高良率与低功耗方面拥有优势。7nm制程方面，台积电先推出FinFet架构的7nm技术，再推出使用EUV的N7+制程。5nm方面，三星与台积电仍有二成产能的差距。台媒指出，供应链透露，台积电目前已采购35台EUV设备，占ASML过半产量，2021年底采购总量将超过50台。相较之下，三星EUV设备采购量目前不到20台。亚汇网了解到，台媒DigiTimes今年9月曾表示，台积电加速先进制程推进，累计EUV光刻机至2021年底将超过50台。相较之下，三星电子2021年还不到25台，同时EUVPOD（光罩传送盒）采购量远低于预期。
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