提升生产效率 东京电子将向ASML提供光刻技术支持
近日据外媒报道称,日本半导体制造设备东京电子(Tokyo Electron)计划向荷兰ASML和比利时IMEC实验室提供技术支持,并与ASML生产的EUV(极紫外)光刻设备进行组合,提升开发竞争力。A
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近日据外媒报道称,日本半导体制造设备东京电子(Tokyo Electron)计划向荷兰ASML和比利时IMEC实验室提供技术支持,并与ASML生产的EUV(极紫外)光刻设备进行组合,提升开发竞争力。A