2月22日盘中消息，截至发稿时，光刻机概念报涨，澄星股份（6.944%）领涨， 蓝英装备（6.446%）、广信材料（6.315%）、强力新材（5.863%）等个股纷纷跟涨。相关光刻机概念股有：
澄星股份：公司组建了包括高级光刻胶专业人才的独立研发团队，建成1500平方米的研发中心和百升级光刻胶中试生产线，产品研发进展和成果得到业界专家的认可。
蓝英装备：凭借行业领先的技术实力，UCMAG为ASML（荷兰光刻机制造商阿斯麦公司）及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备。
广信材料：2018年公司主营业务产品仍以光刻胶专用化学品为主，分为光刻胶用光引发剂和光刻胶树脂两大系列。
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